根據(jù)廢氣預(yù)熱方式及富集方式，催化燃燒工藝流程可分為預(yù)熱式、自身熱平衡和吸附-催化燃燒三種。

　　1、預(yù)熱式當(dāng)有機(jī)廢氣溫度(100℃以下)和濃度較低時在進(jìn)入反應(yīng)器前，先在預(yù)熱室加熱升溫，燃燒凈化后氣體在熱交換器內(nèi)與未處理廢氣進(jìn)行熱交換，以回收部分熱量。

　　2、自身熱平衡當(dāng)有機(jī)廢氣溫度高于起燃溫度且有機(jī)物含量也高時通過熱交換器回收部分凈化氣體產(chǎn)生的熱量，不需補(bǔ)充熱量，只需設(shè)置用于起燃的電加熱器。

　　3、吸附-催化燃燒當(dāng)有機(jī)廢氣流量大、濃度低、溫度低，采用催化燃燒還需耗大量燃料時可先采用吸附手段將有機(jī)廢氣吸附于吸附劑上進(jìn)行濃縮，然后再經(jīng)熱空氣吹掃，使有機(jī)廢氣脫附出來，成為濃縮的高濃度有機(jī)廢氣，再催化燃燒。濃縮有機(jī)廢氣可實(shí)現(xiàn)自身熱平衡運(yùn)轉(zhuǎn)，無需外界補(bǔ)充熱源。